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半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備是半導(dǎo)體行業(yè)必不可少的設(shè)備，它可以有效地處理廢氣，改善工作環(huán)境，降低空氣污染，限度地減少對(duì)環(huán)境的危害。本文介紹了半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備的工作原理、主要性能參數(shù)以及安裝使用方法，以便為用…